- Работа VTM
- Камера перемещения
- Кремниевые пластины
- Технологические камеры
- Чистота
- Точность позиционирования
Описание
Вакуумный манипулятор SIASUN серии PHOENIX работает внутри вакуумного транспортного модуля (VTM) или транспортной камеры кластерной установки. Перемещает подложки (обычно кремниевые пластины) между шлюзовыми камерами и несколькими технологическими камерами.
Сохраняет строгие требования к чистоте, точности позиционирования и времени безотказной работы как часть экосистемы автоматизации фронтальной обработки.
Серия Phoenix обслуживает применения в области полупроводников, логистики, исследований и контроля.
Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.
Характеристики
Технические характеристики
Отрасли
Вакуумный манипулятор SIASUN серии Phoenix
- Обычная цена
- Цена по запросу
В наличии
Роботизированная рука
Недавно просмотренные
Вы ещё не просматривали ни одного товара.
