- Directe aandrijving, riemloos Een tandwiel- en riemloze motorstructuur vermindert speling en mechanische slijtagepunten voor soepelere, betrouwbaardere transferbewegingen.
- Geschikt voor vacuümomgevingen Gebouwd voor lage deeltjesvorming en gecontroleerde ontgassing, zodat wafers door vacuümapparatuur bewegen zonder de gecontroleerde omgeving te doorbreken.
- Handling van gevoelige substraten Verplaatst wafers tussen load locks, transferkamers en procesmodules zoals depositie-, ets- en metrologiestations.
- Trillingsbeheerste beweging De beweging is afgestemd op minimale trillingen bij oppakken, plaatsen en verplaatsen, ter bescherming van waardevolle substraten.
- Integratieklare besturing Geleverd met een motioncontroller en I/O-interfaces, inclusief een vernieuwde I/O-module, voor aansluiting op toolvergrendelingen en fabriekssignalen.
- Herhaalbare overdracht met hoge doorvoer Consistente eindeffector-handling ondersteunt herhaalbaarheid, doorvoer en contaminatiebeheersing in halfgeleiderprocesapparatuur.
Beschrijving
De SIASUN Vacuum Robot Phoenix is een vacuümtransferrobot voor de halfgeleider- en cleanroomproductie, ontworpen om wafers en andere gevoelige substraten te verplaatsen tussen load locks, transferkamers en procesmodules zoals depositie-, ets- en metrologiestations, zonder de gecontroleerde omgeving te doorbreken. Zijn beweging is afgestemd op stabiele, soepele overdracht in vacuümomstandigheden, waar lage deeltjesvorming, gecontroleerde ontgassing en trillingsbeheersing cruciaal zijn om waardevolle substraten te beschermen.
De Phoenix gebruikt een directe-aandrijvingsarchitectuur die de afhankelijkheid van tandwielen en riemen vermindert, wat speling en mechanische slijtagepunten verlaagt voor soepelere, beter herhaalbare bewegingen. Geleverd als integratieklaar platform met een motioncontroller en I/O-interfaces is hij geschikt voor halfgeleider-, cleanroom- en industriële vacuümhandlingtoepassingen waar herhaalbaarheid, doorvoer en contaminatiebeheersing tellen. Neem contact met ons op voor gedetailleerde specificaties, prijzen en beschikbaarheid.
Kenmerken
Specificaties
| Merk | SIASUN |
|---|---|
| Model | Vacuum Robot Phoenix (PHOENIX B Series) |
| Robottype | Vacuüm wafer-transferrobot |
| Aandrijfarchitectuur | Directe aandrijving, zonder tandwielen en riemen |
| Omgeving | Vacuüm / cleanroom (halfgeleiderapparatuur) |
| Handling | Wafers en gevoelige substraten via eindeffector-blade |
| Besturing en I/O | Motioncontroller met geïntegreerde I/O-module voor toolintegratie |
| Typische toepassingen | Transfer bij depositie, etsen en metrologie in halfgeleiderprocesapparatuur |
Sectoren
Veelgestelde vragen
Neem contact met ons op voor actuele prijzen, beschikbaarheid en een offerte op maat voor de SIASUN Vacuum Robot Phoenix.
Het is een vacuümtransferrobot die wafers en andere gevoelige substraten verplaatst tussen load locks, transferkamers en procesmodules zoals depositie-, ets- en metrologiestations, zonder de gecontroleerde vacuümomgeving te doorbreken.
De tandwiel- en riemloze directe aandrijving elimineert tussenliggende overbrengingscomponenten, vermindert speling en mechanische slijtagepunten en ondersteunt soepelere, beter herhaalbare bewegingen voor precisietransfer.
Ja. De Phoenix wordt geleverd als integratieklaar platform met een motioncontroller en I/O-interfaces, inclusief een vernieuwde I/O-module, voor aansluiting op toolvergrendelingen en fabrieksautomatiseringssignalen. Gedetailleerde numerieke specificaties worden per configuratie verstrekt.
Ja. Robotix Market levert wereldwijd aan bedrijven, met facturatie en after-sales ondersteuning. Neem contact met ons op voor een offerte.
Recent bekeken
Je hebt nog geen producten bekeken.
