- Trasferimento di wafer sotto vuoto
- Camere di carico
- Moduli di processo
- Ripetibilità
- Larghezza di banda
- Controllo della contaminazione
Descrizione
Il SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series trasferisce i wafer tra camere di carico, camere di trasferimento e moduli di processo (deposizione, attacco, metrologia) senza interrompere gli ambienti controllati.
Migliora ripetibilità, produttività e controllo della contaminazione nella produzione di semiconduttori e in camera bianca.
La Phoenix B Series è destinata ad applicazioni di movimentazione sotto vuoto nei settori semiconduttori, istruzione e industriale.
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Caratteristiche
Specifiche
| Modello | Robot aspirapolvere serie PHOENIX B |
|---|---|
| Tipo di robot | Trasferimento sottovuoto |
| Destinazione d'uso | Manipolazione dei semiconduttori |
| Marca | SIASUN |
Settori industriali
Domande frequenti
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Il robot a vuoto Phoenix serie B di SIASUN trasferisce i wafer attraverso le camere di carico e i moduli di processo. Automazione con controllo della contaminazione per la produzione di semiconduttori.
Robot aspirapolvere SIASUN serie Phoenix B è particolarmente adatto ad applicazioni nei settori Industriale.
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