- Plaquettes de silicium
- Saphir pour LED
- Haute rigidité
- Suppression des vibrations
- Mouvement à haute vitesse
- Structure légère
Description
Le robot sous vide SIASUN SM12 manipule des plaquettes de silicium et des substrats de saphir pour LED. La conception privilégie la rigidité, la suppression des vibrations et un mouvement à grande vitesse grâce à une structure légère.
Il fonctionne dans des environnements sous vide contrôlé ou adjacents au vide avec une manipulation répétable des substrats.
Le SM12 répond aux applications de manipulation de substrats dans les secteurs semi-conducteur, LED et industriel.
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Fonctionnalités
Spécifications
| Modèle | SM12 |
|---|---|
| Type de robot | Robot sous vide |
| Substrats | Plaquettes, saphir pour LED |
| Marque | SIASUN |
Secteurs
Questions fréquentes
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Le SIASUN SM12 Vacuum Robot manipule les wafers de silicium et les substrats de saphir pour LED. Conception rigide à vibrations amorties pour la manutention sous vide à grande vitesse.
Robot sous vide SIASUN SM12 convient parfaitement aux applications dans les secteurs Industriel.
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