- Fonctionnement VTM
- Chambre de transfert
- Plaquettes de silicium
- Chambres de procédé
- Propreté
- Précision de positionnement
Description
Le manipulateur sous vide SIASUN série PHOENIX fonctionne au sein d'un module de transfert sous vide (VTM) ou d'une chambre de transfert d'un outil cluster. Il déplace des substrats (généralement des plaquettes de silicium) entre les sas de chargement et plusieurs chambres de procédé.
Il maintient une propreté rigoureuse, une précision de positionnement et des exigences de disponibilité au sein de l'écosystème d'automatisation front-end.
La série Phoenix répond aux applications dans les secteurs semi-conducteur, logistique, recherche et inspection.
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Fonctionnalités
Spécifications
| Modèle | Vacuum Manipulator PHOENIX Series |
|---|---|
| Type de robot | Manipulateur sous vide |
| Usage prévu | Cluster tool VTM |
| Marque | SIASUN |
Secteurs
Questions fréquentes
Contactez-nous pour connaître le prix actuel, la disponibilité et obtenir un devis personnalisé pour Manipulateur sous vide SIASUN série Phoenix.
Le SIASUN PHOENIX Vacuum Manipulator fonctionne dans les modules de transfert sous vide et les outils cluster. Manipulation de wafers de silicium avec une propreté stricte et une précision de positionnement.
Manipulateur sous vide SIASUN série Phoenix convient parfaitement aux applications dans les secteurs Industriel.
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