- Manipulador de vacío
- Herramientas de clúster
- Deposición/grabado
- Esclusas de carga
- Estaciones de metrología
- Condiciones de vacío
Descripción
El manipulador de vacío SIASUN serie PHOENIX PLUS opera dentro de equipos de proceso al vacío como las herramientas cluster para deposición, grabado o procesos al vacío relacionados.
Transfiere obleas o sustratos entre esclusas de carga, módulos de proceso y estaciones de metrología manteniendo condiciones de vacío controladas.
La serie Phoenix Plus atiende aplicaciones de manipulación al vacío en los sectores semiconductor e industrial.
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Características
Especificaciones
Sectores
Manipulador de vacío SIASUN serie Phoenix Plus
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